১। তাকবীর বলা অবস্থায় সিজদায় যাওয়া। (সহীহুল বুখারী, হাদীস নং ৮০৩; সহীহ মুসলিম, হাদীস নং ৮৯৪)
২। প্রথমে উভয় হাঁটু মাটিতে রাখা। (সহীহ ইবনে হিব্বান, হাদীস নং ১৯১২; সুনানে আবূ দাউদ, হাদীস নং ৮৩৮; সুনানে নাসায়ী, হাদীস নং ১০৮৮)
৩। অতঃপর কান বরাবর উভয় হাত রাখা এবং হাতের আঙ্গুলসমূহ একেবারে মিলিয়ে পরিপূর্ন কিবলামুখী করে রাখা। (মুসনাদে আহমাদ, হাদীস নং ১৮৮৫৮; মুসান্নাফে আব্দুর রাজ্জাক, হাদীস নং ২৯৪৮; মুস্তাদরাকে হাকেম, হাদীস নং ৮২৬; সুনানে আবূ দাউদ, হাদীস নং ৭৩২)
৪। তারপর নাক রাখা। {সহীহুল বুখারী, হাদীস নং ৮১২; রদ্দুল মুহতার ২/২০২ (যাকারিয়া)}
৫। তারপর কপাল রাখা। {সহীহুল বুখারী, হাদীস নং ৮০৯; রদ্দুল মুহতার ২/২০২ (যাকারিয়া)}
৬। অতঃপর দুই হাতের মাঝে সিজদা করা এবং দৃষ্টি নাকের অগ্রভাগের দিকে রাখা। (সহীহ মুসলিম, হাদীস নং ৯২৩; মুসনাদে আহমদ, হাদীস নং ১৮৮৬৬; সহীহ ইবনে খুযাইমা, হাদীস নং ৩০১২)
৭। পেট উরু থেকে পৃথক রাখা। (সুনানে আবূ দাউদ, হাদীস নং ৭৩৫; সুনানে বাইহাক্বী, হাদীস নং ২৮১৯)
৮। উভয় পাঁজড় থেকে বাহুদ্বয়কে পৃথক রাখা। (সহীহুল বুখারী, হাদীস নং ৩৯০; সহীহ মুসলিম, হাদীস নং ১১৩৩)
৯। কনূই মাটি ও হাঁটু থেকে পৃথক রাখা। (সহীহুল বুখারী, হাদীস নং ৩৯০, ৮২২; সহীহ মুসলিম, হাদীস নং ১১৩০, ১১৩২)
১০। কমপক্ষে তিন বার এই তাসবীহ পড়া-
سُبْحَانَ رَبِّىَ الأَعْلَى
(সহীহ মুসলিম, হাদীস নং ১৮৫০; সুনানে নাসায়ী, হাদীস নং ১১৩২)
১১। তাকবীর বলা অবস্থায় সিজদা থেকে উঠা। (সহীহুল বুখারী, হাদীস নং ৮০৩; সুনানে নাসায়ী, হাদীস নং ১০৮১)
১২। প্রথমে কপাল, তারপর নাক, তারপর উভয় হাত, তারপর উভয় হাঁটু উঠানো। {সুনানে আবূ দাউদ, হাদীস নং ৮৩৮; সুনানে নাসায়ী, হাদীস নং ১০৮৮; রদ্দুল মুহতার ২/২০৩ (যাকারিয়া)}